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发明名称 RESIST PATTERN THICKENING MATERIAL
摘要
申请公布号 KR101125412(B1) 申请公布日期 2012.03.27
申请号 KR20110030729 申请日期 2011.04.04
申请人 发明人
分类号 G03F7/26;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/40;G11B5/855;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/105 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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