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发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR DEFECT INSPECTION OF CONDUCTOR USING PHASE MEASUREMENT OF ALTERNATIVE CURRENT SIGNAL
摘要
申请公布号
KR101125613(B1)
申请公布日期
2012.03.27
申请号
KR20090104795
申请日期
2009.11.02
申请人
发明人
分类号
G01N27/20;G01B7/16;G01R25/00
主分类号
G01N27/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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