| 摘要 |
1. Лазерно-плазменный источник экстремально короткого ультрафиолетового излучения, содержащий твердотельный лазер, излучающий маломощный импульс для предварительного нагрева мишени конвертора и инициирования плазмы, многокаскадный CO2 лазер, формирующий основной силовой импульс облучения плазмы, и задающий генератор стоксового излучения, отличающийся тем, что между CO2 лазером и задающим генератором установлен ряд промежуточных ВКР-преобразователей доли излучения твердотельного лазера на длину волны усиления CO2 лазера, формирующего основной силовой импульс облучения плазмы. ! 2. Лазерно-плазменный источник по п.1, отличающийся тем, что внутри последнего ВКР-преобразователя, инжектирующего выходное излучение на вход CO2 лазера, установлен набор поворотных зеркал. |
