发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101128708(B1) 申请公布日期 2012.03.26
申请号 KR20050017295 申请日期 2005.03.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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