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发明名称
INTERGRATED CIRCUIT WITH MULTIPLE SPACER INSULATING REGION WIDTHS
摘要
申请公布号
KR101129070(B1)
申请公布日期
2012.03.26
申请号
KR20067017665
申请日期
2005.01.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/8238;G02B26/08;H01L21/84;H01L27/12
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
地址
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