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发明名称 Surface-coating method, production of microelectronic interconnections using said method and integrated circuits
摘要
申请公布号 KR101127622(B1) 申请公布日期 2012.03.23
申请号 KR20057015060 申请日期 2004.02.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/48;C23C18/16;C23C18/18;C23C18/28;H01L21/768;H05K3/18;H05K3/24;H05K3/42 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
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