PROCEDE DE LIBERATION AMELIORE DE LA STRUCTURE SUSPENDUE D'UN COMPOSANT NEMS ET/OU MEMS,申请号FR20090053976-传众专利搜索

发明名称	PROCEDE DE LIBERATION AMELIORE DE LA STRUCTURE SUSPENDUE D'UN COMPOSANT NEMS ET/OU MEMS
摘要
申请公布号	FR2946636(B1)	申请公布日期	2012.03.23
申请号	FR20090053976	申请日期	2009.06.15
申请人	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE	发明人	DUPRE CECILIA;ROBERT PHILIPPE
分类号	B81C1/00	主分类号	B81C1/00
代理机构		代理人
主权项
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