发明名称 METHOD FOR FORMING A METAL LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101128705(B1) 申请公布日期 2012.03.23
申请号 KR20050036586 申请日期 2005.04.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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