发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UNE CAVITE DANS L'EPAISSEUR D'UN SUBSTRAT POUVANT FORMER UN SITE D'ACCUEIL DE COMPOSANT
摘要
申请公布号 FR2944646(B1) 申请公布日期 2012.03.23
申请号 FR20090052598 申请日期 2009.04.21
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 SAINT PATRICE DAMIEN;BOLIS SEBASTIEN;JACQUET FABRICE
分类号 H01L21/70;B81B7/02 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
主权项
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