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发明名称
Method for forming etching barrier by using shadow effect and method for fabricating one side contact of vertical transistor
摘要
申请公布号
KR101129030(B1)
申请公布日期
2012.03.23
申请号
KR20100066268
申请日期
2010.07.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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