METHOD FOR CLEANING AND ETCHING A SUBSTRATE WITH A TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE LAYER AND DEVICE FOR CARRYING OUT THE METHOD,申请号KR20067020962-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR CLEANING AND ETCHING A SUBSTRATE WITH A TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE LAYER AND DEVICE FOR CARRYING OUT THE METHOD
摘要
申请公布号	KR101126219(B1)	申请公布日期	2012.03.23
申请号	KR20067020962	申请日期	2005.03.31
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;H01L21/00;H01L31/00;H01L31/18	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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