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发明名称 Apparatus for thin layer deposition, method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same, and organic light emitting display apparatus manufactured by the method
摘要
申请公布号 KR101127577(B1) 申请公布日期 2012.03.23
申请号 KR20090076732 申请日期 2009.08.19
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;H01L51/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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