发明名称 Apparatus for vapor deposition
摘要
申请公布号 KR101128737(B1) 申请公布日期 2012.03.23
申请号 KR20090134052 申请日期 2009.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/687 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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