发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PROVIDING AN ELECTROSTATIC CHUCK WITH REDUCED PLASMA PENETRATION AND ARCING
摘要
申请公布号 KR101125885(B1) 申请公布日期 2012.03.22
申请号 KR20080072273 申请日期 2008.07.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/687 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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