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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR PROVIDING AN ELECTROSTATIC CHUCK WITH REDUCED PLASMA PENETRATION AND ARCING
摘要
申请公布号
KR101125885(B1)
申请公布日期
2012.03.22
申请号
KR20080072273
申请日期
2008.07.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/687
主分类号
H01L21/687
代理机构
代理人
主权项
地址
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