发明名称 Magnetic gear for substrate-conveying apparatus
摘要
申请公布号 KR101121188(B1) 申请公布日期 2012.03.22
申请号 KR20090114759 申请日期 2009.11.25
申请人 发明人
分类号 B65G49/06;B65G13/06;F16H49/00;H01L21/677 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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