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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR GROWING A THIN FILM ONTO A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR20120028305(A)
申请公布日期
2012.03.22
申请号
KR20117027389
申请日期
2010.04.01
申请人
ASM AMERICA, INC.
发明人
WHITE CARL L.;SHERO ERIC J.;PEUSSA MARKO
分类号
H01L21/205;C23C16/455
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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