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发明名称 MICROPUMP
摘要 The invention relates to a positive displacement pump, constructed in microsystem technology, which is preferably used as a vacuum pump.
申请公布号 US2012070314(A1) 申请公布日期 2012.03.22
申请号 US201013320790 申请日期 2010.05.11
申请人 MUELLER JOERG;RAMIREZ WONG REGULO MIGUEL;BAYER TECHNOLOGY SERVICES GMBH 发明人 MUELLER JOERG;RAMIREZ WONG REGULO MIGUEL
分类号 H02K44/02;F04B19/20 主分类号 H02K44/02
代理机构 代理人
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