发明名称 A cleaning apparatus including a hybrid knife.
摘要
申请公布号 KR101121192(B1) 申请公布日期 2012.03.22
申请号 KR20090109317 申请日期 2009.11.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址