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经营范围
发明名称
Cleaning method and cleaning system of organic materials
摘要
申请公布号
KR101127583(B1)
申请公布日期
2012.03.22
申请号
KR20100012406
申请日期
2010.02.10
申请人
发明人
分类号
H01L51/56;H05B33/10
主分类号
H01L51/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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