晶圆旋转夹盘及使用该夹盘之蚀刻器

摘要

本发明可提供一种晶圆旋转夹盘，及使用该夹盘之蚀刻器。根据本发明一范例，可提供一种晶圆旋转夹盘装置，其可包含：一旋转体，其旋转一晶圆；及一固定体，其夹持该旋转体，且在该旋转体之下具有该旋转体与该固定体之间的一空间，其中该固定体包括利用液体隔绝该空间的一阻隔单元。