| 摘要 |
一种具氧化锌缓冲层之磊晶基板结构，系选择一铝酸锂(LiAlO2)作为基板，并在该铝酸锂基板上成长一单晶薄膜之氧化锌(ZnO)缓冲层，藉此，利用该铝酸锂基板上所成长之非极性(non-polar)氧化锌，及其结构间之相似性，使氧化锌具同一方向以有效消除量子局限史塔克效应(Quantum Confined Stark Effect,QCSE)，进而达到晶格匹配(lattice match)并获得良好之晶体介面品质，以提升发光效率及后续完成之元件性能。另亦可进一步植入异质接面、多重量子井(Multiple Quantum Well,MQW)或超晶格等低维结构结合为一光电元件，如发光二极体、压电材料或雷射二极体等，以提升发光效率。 |
