定位装置

摘要

定位装置包含至少一可位移的托架、数个可供该托架在其上位移的液体滑动轴承、以及一托架驱动器。后者包含一包含一第一主要部件与一位于该第一主要部件相对位置的第一辅助部件且位于第一平面的第一线性马达、以及一包含一第二主要部件与一位于该第二主要部件相对位置的第二辅助部件且位于第二平面的第二线性马达。两个线性马达系经配置成处于倾斜状态以使两个平面相异且形成一交叉角度。