一种量测方法、检测装置及微影装置

摘要

将辐射投影至在一基板上之复数个目标上。藉由假定自不对称性可导出之覆盖误差跨越该基板平滑地变化，可减小所量测之目标的数目。此可导致较小面积之划道由该基板之每一层之目标予以使用。