多步骤系统及介电膜硬化方法

摘要

本发明提供一种硬化介电膜之多步骤系统及方法，其中该系统包含用以降低介电膜中之污染物量如水气的乾燥系统。该系统更包含连接至该乾燥系统的硬化系统，该硬化系统利用紫外(UV)辐射及红外(IR)辐射来处理介电膜，以硬化该介电膜。