钛或钛合金用蚀刻液

摘要

本发明系提供一种蚀刻液及蚀刻方法，其可以选择性蚀刻钛或钛合金，而不会蚀刻不容许被蚀刻的金属，例如铜、锡、锡合金以及铝。前述蚀刻液系由含有10~40重量%的过氧化氢、0.05~5重量%的磷酸、0.001~0.1重量%的膦酸系化合物、以及氨之水溶液所构成。