连接构件、包含该连接构件之接地结构、加热器以及基板处理装置

摘要

一种接地结构包括接地座、接地端子以及连接构件。接地端子可移动地插入接地座。连接构件将导电的夹持具电性连接至接地座。进一步，连接构件随着接地端子的热膨胀沿接地端子的长度方向弯曲。连接构件可包括用以保持接地端子的夹持部、固定于接地座上的固定部以及连接于夹持部与固定部之间的弯曲部。弯曲部弯曲成允许夹持部沿着接地端子的长度方向移动。