基板检视装置

摘要

本发明揭示一种基板支撑平台和一种具有所述基板支撑平台的基板检视装置。一种基板检视装置包括：平台，其上面稳定地安装有基板，所述基板成为检查目标，其中对附接到所述基板的一边的TAB的区域执行凹痕检查和裂缝检查；至少一个凹痕检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述TAB中是否出现凹痕；至少一个裂缝检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述基板的TAB区域中是否出现裂缝；以及光学系统移动单元，其支撑所述凹痕检查相机和所述裂缝检查相机，以便相对于所述平台而相对地移动。