发明名称 |
表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备 |
摘要 |
本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备,能够实现良好的频率温度特性。用于解决上述课题的SAW谐振器(10)具有:IDT(12),其利用欧拉角为(-1°≤φ≤1°、117°≤θ≤142°、42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30),并激励出阻带上端模式的SAW;和槽(32),其是使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的,SAW谐振器(10)的特征在于,在设SAW的波长为λ、设槽(13)的深度为G的情况下,满足下式的关系:0.01λ≤G,并且在设IDT(12)的线占用率为η的情况下,槽(32)的深度G与所述线占用率η满足下式的关系:<img file="dda0000086132960000011.GIF" wi="809" he="108" />并且,所述IDT中的电极指的对数N处于下式所示的范围内:160≤N≤220。 |
申请公布号 |
CN102386879A |
申请公布日期 |
2012.03.21 |
申请号 |
CN201110246634.1 |
申请日期 |
2011.08.24 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
大胁卓弥;饭泽庆吾;山人 |
分类号 |
H03H9/02(2006.01)I;H03H9/25(2006.01)I |
主分类号 |
H03H9/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
李辉;黄纶伟 |
主权项 |
一种表面声波谐振器,其具有IDT和电极指间槽,该IDT设于欧拉角为‑1.5°≤φ≤1.5°、117°≤θ≤142°、41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板上,由Al或者以Al为主体的合金构成,激励出阻带上端模式的表面声波,该电极指间槽是使位于构成所述IDT的电极指之间的基板凹陷而形成的,所述表面声波谐振器的特征在于,在设所述表面声波的波长为λ、设所述电极指间槽的深度为G的情况下,满足下式:0.01λ≤G并且,在设所述IDT的线占用率为η的情况下,所述电极指间槽的深度G与所述线占用率η满足下式的关系: <mrow> <mo>-</mo> <mn>2.5</mn> <mo>×</mo> <mfrac> <mi>G</mi> <mi>λ</mi> </mfrac> <mo>+</mo> <mn>0.675</mn> <mo>≤</mo> <mi>η</mi> <mo>≤</mo> <mo>-</mo> <mn>2.5</mn> <mo>×</mo> <mfrac> <mi>G</mi> <mi>λ</mi> </mfrac> <mo>+</mo> <mn>0.775</mn> </mrow>并且,所述IDT中的电极指的对数N处于下式所示的范围内:160≤N≤220。 |
地址 |
日本东京都 |