一种下一代结构高效率晶体硅电池及制作方法

摘要

一种下一代结构高效率晶体硅电池及制作方法，属于晶体硅太阳能电池领域，含有以下步骤；氧化硅钝化步骤，是指在P型硅片的磷掺杂面形成一层氧化硅膜；氧化铝钝化步骤，是指在P型硅片的非掺杂面形成一层氧化铝膜；MWT(Metal Wrap Through)技术步骤，是指采用激光打孔，把电池片正面电极引到背面；新栅线形成步骤，是指采用电镀，溅射步骤。本发明有效结合了MWT，正面双层膜钝化，背面氧化铝钝化；并采用了新电池形成方案，如电镀，溅射等克服了对丝网印刷银浆的依赖，同时降低了由电极产生的电阻。能使P型单晶电池片效率提升到20％以上，P型多晶电池片效率提升到18％以上。

主权项

一种下一代结构高效率晶体硅电池，其特征在于在电池正面形成氧化硅和氮化硅双层膜，对正面形成良好的钝化和降低表面反射；背面采用氧化铝或氧化硅层钝化P型基底和局部背场结构，形成有效的背面钝化；贯穿硅片的小孔被浆料填充，最终形成电极；在背面，从小孔引出的电极用掩膜法或用激光使其与表面的其他部分隔开，避免短路；P型基底与局部背场之间有氧化铝膜或氧化硅膜；正面氧化硅与P型基底之间有n型层。