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发明名称 FORMULATIONS FOR CLEANING MEMORY DEVICE STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP2094825(A4) 申请公布日期 2012.03.21
申请号 EP20070864023 申请日期 2007.11.07
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 VISINTIN, PAMELA M.;KORZENSKI, MICHAEL B.
分类号 C11D1/00;C11D3/00;C11D3/37;C11D7/08;C11D7/32;C11D7/50 主分类号 C11D1/00
代理机构 代理人
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