位置测量装置

摘要

本发明涉及一种位置测量装置，其用于测量物体相对于工具的相对位置，其中工具具有工具中心点。所述位置测量装置包括：至少两个交叉布置的和彼此在至少一个移动平面中可移动的刻度尺；以及所配属的光学的扫描单元，所述扫描单元产生用于平行于移动平面的至少一个测量方向的位置信号。每个所述刻度尺具有中性旋转点，以便各个刻度尺的倾斜不会引起所测得的位置的改变。通过所述扫描光学装置确保了：所述两个刻度尺的中性旋转点的位置相一致。通过所述刻度尺相对于工具中心点的布置确保了：所述两个刻度尺的中性旋转点与所述工具中心点处于一个平行于移动平面的平面中。

主权项

一种用于测量物体相对于工具(T)的相对位置的位置测量装置，所述工具具有工具中心点(TCP)，所述位置测量装置包括至少一个扫描光学装置，该扫描光学装置具有：两个交叉布置的并且在至少一个移动平面(XY)中可以相对于彼此移动的刻度尺(Mm，Mf； Mmx，Mfx；Mmy，Mfy)；以及所配属的光学的扫描单元(AE；AEx，Aey；AE1，AE2，AE3)，所述扫描单元产生用于平行于移动平面的至少一个测量方向(Mr)的位置信号，每个刻度尺(Mm，Mf；Mmx，Mfx；Mmy，Mfy)具有中性旋转点(NPm，NPf)，各个刻度尺(Mm，Mf；Mmx，Mfx；Mmy，Mfy)的围绕该中性旋转点的倾斜不会引起所测得的位置的改变，其中，‑通过所述扫描光学装置确保了：所述两个刻度尺(Mm，Mf； Mmx，Mfx；Mmy，Mfy)的中性旋转点(NPm，NPf)的位置相一致，以及‑通过所述刻度尺(Mm，Mf；Mmx，Mfx；Mmy，Mfy)相对于工具中心点(TCP)的布置确保了：所述两个刻度尺(Mm，Mf；Mmx，Mfx；Mmy，Mfy)的中性旋转点(NPm，NPf)与所述工具中心点(TCP)处于一个平行于移动平面(XY)的平面中。