一种由具有不同输出性能特征的激光器提供质量一致的靶材料去除的方法

摘要

激光脉冲能量调整是受对这样的影响的理解驱动的，即对不同激光器中激光脉冲宽度变化对满足与激光加工靶关联的质量衡量的影响。在优选实施例中，调整标准化靶样品中不同激光钻孔中脉冲宽度变化的影响。基于应用到孔位置的脉冲能量，传输到靶样品从而形成每个孔的激光脉冲的数量可改变，从而控制不同孔质量衡量。

主权项

一种一致地满足质量衡量的方法，该质量衡量是为由从一组激光器中不同激光器发出的激光输出脉冲加工的靶样品材料的区域规定的，在加工靶样品材料之前，激光输出脉冲特征为有由脉冲宽度和峰值功率值确定的额定脉冲能量值，该方法包括：为靶样品材料被激光加工的区域规定质量衡量；和调整激光输出脉冲的额定脉冲能量值，从而为该组中每个激光器建立调整的能量值，该能量值使由激光输出脉冲加工的靶样品材料的区域一致地满足所规定的质量衡量，额定脉冲能量值的调整包括为该组中激光器确定表示规定的质量衡量的比率，其被表示为 F τ , 其中F和τ分别是激光脉冲的能量密度和脉冲宽度。