一种仿壁虎毛的干性粘合剂制作方法

摘要

一种仿壁虎毛的干性粘合剂制作方法，针对目前湿性粘合剂易退化、易污染、自粘附等缺点，以及目前干性粘合剂复杂繁琐的制作方式，通过研究自然界中壁虎脚毛的微纳层次结构特征，采用ICP刻蚀工艺与厚胶工艺相结合制作出一种SU-8胶与硅的复合模具，然后通过微模塑的方式一次成型得到高深宽比的微纳层次结构纤维阵列，该结构模拟自然界壁虎的结构特征，具有强效的粘附特性。本发明包括基于ICP刻蚀工艺的硅母板制作、基于厚胶工艺的复合模具制作以及基于微模塑成型的双层纤维阵列制作。本发明能制作出接近自然界中壁虎脚毛参数的微纳层次结构，是一种既能适应不同表面又能轻易主动脱附的强效干性粘合剂，且制作成本低廉、方法简易。

主权项

一种仿壁虎毛的干性粘合剂制作方法，其步骤包括：第1步基于电感耦合等离子体刻蚀工艺的硅母板制作步骤：依据纳米级纤维阵列的中纤维的直径、间距制作出点阵结构掩膜板，然后使用电感耦合等离子体刻蚀工艺刻蚀硅母板，刻蚀深度为所设定纳米级纤维的长度，得到带深孔阵列的硅母板；第2步基于厚胶工艺的复合模具制作步骤：在带深孔阵列的硅母板上旋涂SU‑8光刻胶，SU‑8胶厚度为所设定的微米级纤维的长度，烘烤；SU‑8光刻胶冷却后将整个硅母板放至光刻机上曝光，曝光所用的掩膜板图案由所设定的微米级纤维的直径、间距对应制作；曝光完成后将整个硅母板烘烤，待冷却后放入显影液中浸泡，则未曝光的SU‑8胶被去掉，得到SU‑8胶与硅的复合模具；第3步基于微模塑成型的双层纤维阵列制作步骤：清洗SU‑8胶与硅的复合模具，然后镀上分离剂，再将纤维材料倒在复合模具上，烘烤后从复合模具上剥离，得到仿壁虎毛的微纳层次结构纤维阵列，即干性粘合剂。