低缺陷率电致变色装置的制造

摘要

先前的电致变色装置常常存在高缺陷率水平。这些缺陷可表现为损害电致变色转变的针孔或斑点。这一点对例如电致变色建筑玻璃等许多应用来说是无法接受的。缺陷率低的改良型电致变色装置可通过在单一整合沉积系统中沉积电致变色装置的某些分层组件来制造。当在例如玻璃窗等衬底上沉积和/或处理所述层时，所述衬底从未离开受控周围环境，例如具有极低粒子含量的低压受控氛围。所述层可使用物理气相沉积来沉积。

主权项

一种制造电致变色窗的方法，所述方法包含：在衬底上依序沉积(i)电致变色层、(ii)离子传导层和(iii)反电极层，以形成所述离子传导层将所述电致变色层与所述反电极层分开的堆叠，其中所述依序沉积的层各自使用具有受控周围环境的单一整合沉积系统气相沉积，在所述受控周围环境中压力和气体组成受到控制，与所述整合沉积系统外的外部环境无关联，且其中在所述电致变色层、所述离子传导层和所述反电极层依序沉积期间的任何时间，所述衬底都不离开所述整合沉积系统。