| 发明名称 |
TEMPORARILY FIXINNG AGENT FOR SEMICONDUCTOR WAFER, AND PROCESS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120027102(A) |
申请公布日期 |
2012.03.21 |
| 申请号 |
KR20117011403 |
申请日期 |
2010.06.15 |
| 申请人 |
SUMITOMO BAKELITE COMPANY LIMITED |
发明人 |
TAKEUCHI ETSU;KUSUNOKI JUNYA;SUGIYAMA HIROMICHI;KUBOYAMA TOSHIHARU;KAWATA MASAKAZU |
| 分类号 |
H01L21/683;C09J145/00;C09J201/00;H01L21/48 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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