一种光刻胶组合物及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及一种光刻胶组合物，本发明还涉及这种光刻胶组合物的制备方法，本发明还涉及这种光刻胶组合物的应用。本发明的光刻胶组合物，包括光刻胶和金属盐类光致发光离子；所述光刻胶作为连续相；所述金属盐类光致发光离子作为分散相，所述金属盐类光致发光离子在所述光刻胶中的质量体积浓度为0.0005～0.004g/mL。一种光刻胶组合物的制备方法，先用有机溶剂溶解所述金属盐类光致发光离子，然后与所述光刻胶混溶，混合均匀后，再加热蒸发掉所述有机溶剂。所述光刻胶组合物应用于集成电路光刻。本发明解决了现有技术中光刻胶的光刻分辨率低、光刻小尺寸器件时线条边缘往往不平整光滑的技术问题。

主权项

一种光刻胶组合物，其特征在于，包括：光刻胶，所述光刻胶作为连续相；和金属盐类光致发光离子，所述金属盐类光致发光离子作为分散相，所述金属盐类光致发光离子是具有光致发光性能的金属盐类离子；所述金属盐类光致发光离子分散于所述光刻胶，所述金属盐类光致发光离子在所述光刻胶中的质量体积浓度为0.0005～0.004g/mL。