微机电系统(MEMS)可变电容器、激励部件及相关方法

摘要

提供了微机电系统(MEMS)可变电容器、激励部件及相关方法。MEMS可变电容器可以包括基本彼此平行延伸的第一馈电线和第二馈电线。此外，MEMS可变电容器可以包括与第一馈电线和第二馈电线间隔开的第一电容板和第二电容板。第一电容板和第二电容板可以分别相对于第一馈电线和第二馈电线中的至少一个单独移动，以在预定电容范围内改变第一馈电线和第二馈电线之间的电容。

主权项

一种微机电系统(MEMS)可变电容器系统，包括：间隔开的第一馈电焊盘、第二馈电焊盘和第三馈电焊盘；连接到所述第一馈电焊盘并向所述第二馈电焊盘延伸的第一馈电线；连接到所述第二馈电焊盘并向所述第三馈电焊盘延伸的第二馈电线；连接到所述第三馈电焊盘并分别向所述第一馈电焊盘和所述第二馈电焊盘延伸的第三馈电线和第四馈电线；与所述第一馈电线和所述第三馈电线间隔开的第一电容板，其中所述第一电容板能够相对于所述第一馈电线和所述第三馈电线中的至少一个移动，以在第一预定电容范围内改变所述第一馈电线和所述第三馈电线之间的电容；以及与所述第二馈电线和所述第四馈电线间隔开的第二电容板，其中所述第二电容板能够相对于所述第二馈电线和所述第四馈电线中的至少一个移动，以在第二预定电容范围内改变所述第二馈电线和所述第四馈电线之间的电容。