快速清除残余反应气体的金属有机物化学气相沉积反应腔体

摘要

快速清除残余反应气体的金属有机物化学气相沉积反应腔体，包括：反应腔进气口、反应腔进气管道、上缓冲腔、下缓冲腔、喷淋口、载片台、加热组件、残余气体排放管路、尾气管路、控制阀、缓冲腔压力检测表、真空泵，反应腔进气管道为多路进气管道，载片台的上部设有反应气体喷淋口。反应腔体内设有尾气管路，缓冲腔内设有残余气体排气管路，残余气体排放管路与反应腔的尾气管路通过接头汇合成一条管路与抽除尾气的真空泵相连。本发明的优点是能够在气相沉积反应腔体内快速清除残余气体，利用气相沉积反应腔体的抽气真空泵和部分尾气管路来排放残余气体，使得不同外延层薄膜之间的界面陡峭，提高设备的性能。

主权项

一种快速清除残余反应气体的金属有机物化学气相沉积反应腔体，包括：反映腔进气口、反应腔进气管道、上缓冲腔、下缓冲腔、喷淋口、缓冲挡板、载片台、加热组件、残余气体排放管路、尾气管路、控制阀、缓冲腔压力检测表、抽除尾气的真空泵，反应腔进气管道为多路进气管道，缓冲腔设置在反应腔上部，缓冲腔内设有缓冲挡板，一部分反应气体经反应腔进气管道进入缓冲腔经喷淋口流出，流出的方向与载片台垂直，一部分反应气体经反应腔进气管道直接进入反映腔，在载片台上形成径向流动，反应腔内设有尾气管路，其特征在于所述缓冲腔内设有残余气体排气管路，残余气体排放管路与反应腔的尾气管路通过接头汇合成一条管路与抽除尾气的真空泵相连。