固体摄像元件及其制造方法、放射线摄像装置及其制造方法、以及固体摄像元件的检查方法

摘要

一个实施方式的固体摄像元件所具备的多个信号输出部分别具有：第1输入端子电极组，包含多个分别输入复位信号、保持信号、水平起始信号及水平时钟信号的端子电极；及第1输出端子电极，提供输出信号。该固体摄像元件还具备：第2输入端子电极组，包含多个分别接收复位信号、保持信号、水平起始信号及水平时钟信号的端子电极；多个开关，在第1输入端子电极组与第2输入端子电极组之间切换相对积分电路、保持电路及水平移位寄存器的连接；及第2输出端子电极。

主权项

一种固体摄像元件，其特征在于，具备：受光部，各自包含光电二极管的M×N个像素二维排列成M行N列而形成，其中，M、N为2以上的整数；多个信号输出部，分别与各自包含2个以上的列且所述N列被分割而成的多个列组对应而设置；及垂直移位寄存器，按各行控制来自所述像素的电荷输出，所述多个信号输出部分别具有：2个以上的积分电路，分别对应于各列组中所含的所述2个以上的列而设置，将从各列中所含的所述像素输出的电荷存储并转换为电压信号；2个以上的保持电路，连接于所述2个以上的积分电路各自的输出端；水平移位寄存器，从所述2个以上的保持电路依次输出电压信号；第1输入端子电极组，包含多个端子电极，所述多个端子电极分别输入进行所述积分电路的复位的复位信号、控制向所述保持电路输入电压信号的保持信号、开始所述水平移位寄存器的动作的水平起始信号及规定所述水平移位寄存器的时钟的水平时钟信号；及第1输出端子电极，提供来自所述保持电路的输出信号，该固体摄像元件进一步具备：第2输入端子电极组，与所述第1输入端子电极组分开设置，并包含多个分别接收所述复位信号、所述保持信号、所述水平起始信号及所述水平时钟信号的端子电极；输入用开关，为了在所述第1及第2输入端子电极组之间对与所述积分电路、所述保持电路及所述水平移位寄存器的连接进行切换而设置于各信号输出部；第2输出端子电极，与所述第1输出端子电极分开设置，并提供所述输出信号；及输入信号配线及输出信号配线，所述输入信号配线为了连接各信号输出部的所述输入用开关和除了所述水平起始信号用的端子电极的所述第2输入端子电极组而遍及所述多个信号输出部设置，所述输出信号配线为了连接各信号输出部的所述保持电路和所述第2输出端子电极而遍及所述多个信号输出部设置。