探测器装置

摘要

本发明提供一种在使用维护用基板进行检查部的维护作业时能抑制处理能力降低的探测器装置。其包括：具有臂体(35(36))的晶圆搬送臂(3)；对从FOUP(100)取出的晶圆(W)的朝向和中心进行位置对合的预对准机构(40)；具有从晶圆搬送臂(30)接受晶圆(W)，并进行吸附保持的吸附部(73)的基板保持装置(70)，在发出该检查部(21)的插入处理时，使支承于臂体(35、36)的晶圆(W)保持在基板保持装置(70)上，利用臂体(35(36))从基板收纳部(60)取出针研磨晶圆(Wb)并与晶圆卡盘(4)的晶圆(W)进行交换。由此，缩短进行针研磨处理时的检查部(21)的待命时间，提高测试的处理能力。

主权项

一种探测器装置，是使载置在载置台上的被检查对象的基板的电极焊盘与探测卡的探头接触，测量上述基板的被检查部的电特性的探测器装置，其特征在于，包括：用于载置收纳有多个基板的搬送容器的承载部；基板搬送机构，具有在上述检查部的载置台与载置在该承载部的上述搬送容器之间进行上述基板的交接，互相独立且进退自由的多个基板支承构件，并且在支承未检查的上述基板而待命时有1个上述基板支承构件是空闲的；搬送室，连接上述承载部和上述检查部，上述基板搬送机构在该搬送室内部进行移动；预对准机构，设于上述搬送室内，用于对从上述搬送容器取出的基板的朝向进行调整和对该基板的中心进行位置对合，具有保持基板而进行旋转的旋转台和检测该旋转台上的基板周缘的周缘检测部；基板收纳部，设于上述搬送室内，收纳有用于进行上述检查部的维护作业的维护用基板；基板保持装置，设于上述搬送室内，具有自上述基板搬送机构接受上述基板并吸附、保持该基板的吸附机构；控制部，控制上述基板搬送机构，使得在基板被载置在上述检查部的载置台时，在发生该检查部的维护作业的插入处理时，支承在上述基板支承构件上的上述基板保持于上述基板保持装置，并且利用上述基板支承构件从基板收纳部取出上述维护用基板而与上述载置台的基板进行交换。