发明名称 |
EPOXY GROUP-CONTAINING ORGANOSILOXANE COMPOUND, CURABLE COMPOSITION FOR TRANSFER MATERIAL, AND FINE PATTERN FORMING METHOD USING THE COMPOSITION |
摘要 |
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申请公布号 |
EP2218724(A4) |
申请公布日期 |
2012.03.21 |
申请号 |
EP20080847167 |
申请日期 |
2008.11.05 |
申请人 |
SHOWA DENKO K.K. |
发明人 |
MORINAKA, KATSUTOSHI;ARAI, YOSHIKAZU;UCHIDA, HIROSHI;FUJITA, TOSHIO |
分类号 |
C07F7/21;C08G59/20;H01L21/027 |
主分类号 |
C07F7/21 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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