发明名称 EPOXY GROUP-CONTAINING ORGANOSILOXANE COMPOUND, CURABLE COMPOSITION FOR TRANSFER MATERIAL, AND FINE PATTERN FORMING METHOD USING THE COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP2218724(A4) 申请公布日期 2012.03.21
申请号 EP20080847167 申请日期 2008.11.05
申请人 SHOWA DENKO K.K. 发明人 MORINAKA, KATSUTOSHI;ARAI, YOSHIKAZU;UCHIDA, HIROSHI;FUJITA, TOSHIO
分类号 C07F7/21;C08G59/20;H01L21/027 主分类号 C07F7/21
代理机构 代理人
主权项
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