Apparatus and method relating to removal of selected particles from a charged particle beam,申请号GB20070001265-传众专利搜索

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发明名称	Apparatus and method relating to removal of selected particles from a charged particle beam
摘要
申请公布号	GB2446005(B)	申请公布日期	2012.03.21
申请号	GB20070001265	申请日期	2007.01.23
申请人	SUPERION LIMITED	发明人	DEREK AITKEN
分类号	H01J49/22;H01J49/06;H01J49/20	主分类号	H01J49/22
代理机构		代理人
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