轮廓测定仪、测量设备和观测设备

摘要

一种观测设备，包括照明装置，用于用具有第一光源分布的光照射测量对象的表面；以及成像部，用于对测量对象的表面成像。考虑通过测量点的第一平面，将第一光源分布设置为使得：(1)光亮度L11(θ)根据角度θ以连续或步进的方式变化，以及(2)当从测量点观察时，在第一平面上以位于预定角度θC的点为中心的预定范围±σ的局部区域中，光亮度L11(θ)不为零，并且对于满足0＜a≤σ的任意a，以下方程式实质上成立：L11(θC-a)+L11(θC+a)＝2×L11(θC)。

主权项

一种轮廓测定仪，用于测量测量对象的表面轮廓，该测量装置包括：照明装置，用于用光照射所述测量对象；成像装置，用于对来自所述测量对象的反射光成像；以及法向计算部，用于根据成像的图像，计算所述测量对象每个位置的表面的法线方向；其中所述照明装置具有预定宽度的发光区域，在所述发光区域的任意点对称区域中，点对称区域的光源分布的重心的光亮度与该点对称区域的中心的光亮度一致。