三通道微机械悬臂梁间接式微波功率传感器及制备方法

摘要

本发明的三通道微机械悬臂梁间接式微波功率传感器，通过把三个主线CPW相互之间呈120º的角放置，在每个主线CPW的输出端连接两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这三对热电偶相互之间也同样呈120º的角放置并串联连接形成热电堆，从而实现三通道微波功率的测量；同时在每个主线CPW信号线上横跨一个MEMS悬臂梁，MEMS悬臂梁的一端未被固定而另一端通过悬臂梁的锚区与副线CPW信号线相连接，其副线CPW另一端也连接两个终端匹配电阻，在这两个终端匹配电阻附近有一个热电堆，从而能够检测其中哪些通道输入了微波功率及其微波功率大小的比例；同时它具有低损耗、高灵敏度、好的线性度、高的集成度以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。

主权项

一种三通道微机械悬臂梁间接式微波功率传感器，制作在砷化镓衬底（17）上，在其上设有CPW（4）、三个MEMS悬臂梁结构、绝缘介质层（7）、热电堆、终端匹配电阻（9）、一个金属散热片（13）、空气桥（8）以及MEMS衬底膜结构（16）：所述CPW（4）包括主线CPW（4）和副线CPW（4）；所述MEMS悬臂梁结构包括MEMS悬臂梁（5）和锚区（6）；所述热电堆包括一个由六个热电偶（10）构成三对热电偶（10）而组成的热电堆、六个位于副线CPW（4）连接的终端匹配电阻（9）附近的热电堆、输出压焊块（14）和连接线（15），其特征在于该结构具有三个用于引入微波信号的主线CPW输入端（1、2和3），它们彼此对称放置且相互之间呈120º的角，每个主线CPW（4）信号线上方有一个MEMS悬臂梁（5），在每个主线CPW（4）的输出端连接两个终端匹配电阻（9），每个终端匹配电阻（9）附近有一个热电偶（10），将这三对热电偶（10）相互之间也同样呈120º的角放置并串联连接形成热电堆。