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发明名称
IONIC PHOTOACID GENERATORS WITH SEGMENTED HYDROCARBON-FLUOROCARBON SULFONATE ANIONS
摘要
申请公布号
EP1556740(B1)
申请公布日期
2012.03.21
申请号
EP20030777730
申请日期
2003.10.10
申请人
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
发明人
LAMANNA, WILLIAM, M.;CLARK, GREGORY, D.;FLYNN, RICHARD, M.;QIU, ZAI-MING
分类号
G03F7/038;G03F7/004
主分类号
G03F7/038
代理机构
代理人
主权项
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