发明名称 IONIC PHOTOACID GENERATORS WITH SEGMENTED HYDROCARBON-FLUOROCARBON SULFONATE ANIONS
摘要
申请公布号 EP1556740(B1) 申请公布日期 2012.03.21
申请号 EP20030777730 申请日期 2003.10.10
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 LAMANNA, WILLIAM, M.;CLARK, GREGORY, D.;FLYNN, RICHARD, M.;QIU, ZAI-MING
分类号 G03F7/038;G03F7/004 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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