一种新型可调基片输送辊装置

摘要

本实用新型公开了一种新型可调基片输送辊装置，空间位置可调，能保证其刚性和可靠性，本装置设有阶梯轴，阶梯轴外围设有轴承座，轴承座为偏心结构，阶梯轴通过轴承座固定于真空腔墙体上，轴承座的安装孔的中心线与真空腔墙体的中心线偏离0.5～1mm，阶梯轴真空室内的一端的光轴段上套接有传送辊，传送辊通过传送键卡接阶梯轴，传送辊的两侧均设有一组螺母，阶梯轴的光轴段端部具有细牙螺纹，阶梯轴真空室外的一端套接有同步带轮，同步带轮通过传送键卡接阶梯轴；本实用新型不仅可以提高基片的镀膜质量，还可以降低焊接、加工、装配等工序要求，使设备制造成本降低，能在轴向和径向上可调，保证调整精度。

主权项

一种新型可调基片输送辊装置，其特征在于：本装置设有阶梯轴（1），所述阶梯轴（1）外围设有轴承座（2），所述轴承座（2）为偏心结构，所述阶梯轴（1）通过轴承座（2）固定于真空腔墙体（8）上，所述阶梯轴（1）真空室内一端的光轴段上套接有传送辊（3），所述光轴段设有传送键（4），所述传送辊（3）通过传送键（4）固定卡接所述阶梯轴（1），所述传送辊（3）的两侧分别设有一组螺母（5）；所述阶梯轴（1）真空室外的一端套接有同步带轮（11），所述同步带轮（11）通过传送键（4）卡接阶梯轴（1），所述阶梯轴（1）和轴承座（2）之间设有套筒Ⅰ（6）和套筒Ⅱ（7），所述套筒Ⅰ（6）两侧分别设有一组相对阶梯轴（1）对称的轴承（9）；所述套筒Ⅱ（7）一侧设有相对阶梯轴（1）对称的两组密封圈（10），所述套筒Ⅱ（7）的另一侧设有相对阶梯轴（1）对称的一组轴承（9）。