可湿法显影的底部抗反射涂料组合物及其使用方法

摘要

本发明公开了一种用于在衬底表面和正性光刻胶组合物之间施用的抗反射涂料组合物。该抗反射涂料组合物可在含水碱性显影液中显影。该抗反射涂料组合物包含聚合物，该聚合物包含至少一种含选自内酯、马来酰亚胺和N-烷基马来酰亚胺的一个或多个结构部分的单体单元和至少一种含一个或多个吸收性结构部分的单体单元。该聚合物不包含酸不稳定基团。本发明还公开了一种通过在光刻中使用本发明抗反射涂料组合物形成并转印浮雕图像的方法。

主权项

一种用于在衬底表面和正性光刻胶组合物之间施用的抗反射涂料组合物，其包含聚合物，该聚合物包含含内酯结构部分的单体单元，含马来酰亚胺或N‑烷基马来酰亚胺结构部分的单体单元，以及含未取代或取代的酚结构部分的单体单元，所述聚合物不包含酸不稳定基团，且所述抗反射涂料组合物可在含水碱性显影液中显影。