| 发明名称 | 形成多晶硅层的方法、薄膜晶体管和有机发光装置 | ||
| 摘要 | 一种形成多晶硅层的方法，包括形成第一非晶硅层和形成第二非晶硅层，使得所述第一非晶硅层和所述第二非晶硅层具有彼此不同的膜性质；和用金属催化剂使所述第一非晶硅层和所述第二非晶硅层结晶，以形成第一多晶硅层和第二多晶硅层。一种薄膜晶体管包括由所述方法形成的多晶硅层，和一种有机发光装置包括所述薄膜晶体管。 | ||
| 申请公布号 | CN102386069A | 申请公布日期 | 2012.03.21 |
| 申请号 | CN201110241085.9 | 申请日期 | 2011.08.22 |
| 申请人 | 三星移动显示器株式会社 | 发明人 | 朴炳建;朴钟力;郑胤谟;李卓泳;徐晋旭;李基龙;郑珉在;孙榕德;苏炳洙;朴承圭;李东炫;李吉远;郑在琓 |
| 分类号 | H01L21/20(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 陈万青;王珍仙 |
| 主权项 | 一种形成多晶硅层的方法，包括：形成第一非晶硅层和第二非晶硅层，使得所述第一非晶硅层和所述第二非晶硅层具有彼此不同的膜性质；和用金属催化剂使所述第一非晶硅层和所述第二非晶硅层结晶，以分别形成第一多晶硅层和第二多晶硅层。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||