一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟

摘要

本实用新型公开了一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟，包括两个支撑框架和连接设置在两个支撑框架之间的四根石英棒，所述四根石英棒包括两根上部石英棒和两根底部石英棒，其中，两根对称设置的所述上部石英棒的相对的内侧面上均匀开设有多个垂直于所述上部石英棒的轴向的滑槽，所述底部石英棒的上端面上设置有与所述滑槽相对应的插片槽，所述插片槽垂直于所述底部石英棒的轴向；其中一个所述底部石英棒上设有供所述自动上料机识别石英舟正面的凸台。本实用新型使扩散工序可以采用自动上下料机插片，从而节省人力和时间，使工作效率大大提高，也大大减少碎片率。

主权项

一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟，包括相对设置的两个支撑框架和连接设置在两个支撑框架之间的四根石英棒，所述四根石英棒包括对称水平设置且两端分别连接在所述两个支撑框架的上部两侧的两根上部石英棒和水平设置且两端分别连接在所述两个支撑框架底部的两根底部石英棒，所述底部石英棒所在平面和所述上部石英棒所在平面平行，其特征在于，两根对称设置的所述上部石英棒的相对的内侧面上均匀开设有多个垂直于所述上部石英棒的轴向的滑槽，所述底部石英棒的上端面上设置有与所述滑槽相对应的插片槽，所述插片槽垂直于所述底部石英棒的轴向；其中一个所述底部石英棒上设有供所述自动上料机识别石英舟正面的凸台。