发明名称 APPARATUS AND PROCESS FOR HIGH RATE DEPOSITION OF RUTILE TITANIUM DIOXIDE
摘要
申请公布号 EP1680527(B1) 申请公布日期 2012.03.21
申请号 EP20040794409 申请日期 2004.10.07
申请人 DEPOSITION SCIENCES, INC. 发明人 BOLING, NORMAN;KRISL, ERIC;GEORGE, MARK;RAINS, MILES;GRAY, ROBER, H.
分类号 C23C14/34;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/32;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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